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客户案例 |半导体设备(耗材)行业

国内实现碳化硅边缘环量产的半导体关键耗材企业,聚焦 CVD 碳化硅材料与精密零部件,主攻刻蚀、扩散、外延等前道制程,为国产半导体设备提供自主可控的核心 “关节”,处于快速成长期。

内容介绍 / introduce
国内实现碳化硅边缘环量产的半导体关键耗材企业,聚焦 CVD 碳化硅材料与精密零部件,主攻刻蚀、扩散、外延等前道制程,为国产半导体设备提供自主可控的核心 “关节”,处于快速成长期。

客户痛点

吉盛微核心产品:最薄仅 0.25mm,直径300mm 碳化硅边缘环、聚焦环、垫片、薄壁环类零件,不适合人工检测、不适合二次装夹。
尺寸无法人工检测,必须依赖三坐标,检测流程长、慢、断节拍,单件加工周期被拉长 30%~100%

尺寸不合适,再次加工中薄壁件刚性极差,二次装夹极易变形,



在机测量软件
采用“在机测头硬件+专用在机测量软件”的一体化解决方案,作为适配超薄精密件加工的核心检测方案,可从加工、检测、成本、良率四大维度破解痛点,软硬件协同发力,其好处完全贴合企业生产实际,

软件主导检测全流程,避免停机浪费:加工过程中(或加工完成后),软件可自动调用预设检测程序,控制硬件完成采集,无需拆件搬运至三坐标。

实现“实时检测、实时调整、闭环管控”,软件全程主导“检测-分析-调整”闭环,测量数据生成报告文件,一步到位,这一过程无需人工干预,凸显软件的智能化优势。

(此内容由www.kunbyui.com提供)